德國SENresearch 4.0:擁有寬光譜范圍的光譜橢偏儀

新的SENresearch 4.0設計用于光譜橢偏儀，在寬的光譜范圍從190nm（深紫外）到3,500 nm（近紅外）。每一臺SENresearch 4.0都是客戶特定的橢偏光譜解決方案。SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩陣、各向異性、廣義橢偏、散射測量等。使用步進掃描分析器原理實現測量結果。

寬光譜范圍和高光譜精度

SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。



雙補償器2C全穆勒矩陣測量

通過創新的雙補償器2C設計擴展了步進掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場升級和實現成本效益的附件。





沒有光學器件運動(步進掃描分析器原理)

為了獲得測量結果，在數據采集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導圖形用戶界面進行研究的交互模式和用于常規應用的配方模式。



SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據客戶具體配置的光譜范圍、選項和現場可升級附件而制造的。



SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍，具有的信噪比，可選擇的光譜分辨率。可測量硅薄膜厚度高達200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達1700納米。

新的金字塔形狀的自動角度計具有從20度到100度的角度范圍。光學編碼器確保精度和角度設置的長期穩定性。光譜橢偏儀手臂可以獨立移動，用于散射測量和角度分辨透射測量。



SENresearch 4.0 根據步進掃描分析器(SSA)原理進行操作。SSA將強度測量與機械運動分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學部件在數據采集期間都處于靜止狀態。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動掃描和同步應用的快速測量模式。



定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標準和高級應用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學和結構(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應用提供了預定義的配方

SpectraRay/4 是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的綜合軟件。它包括兩種操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允許輕松執行常規應用程序。交互式模式通過交互式圖形用戶界面引導通過橢偏測量。



SpectraRay/4 提供了光譜橢偏儀測量和分析的所有工具。