基本型等離子清洗機是實現材料表面清潔、活化與改性的關鍵設備,廣泛應用于實驗室及小批量生產中。為確保
基本型等離子清洗機操作安全、處理效果穩定并延長壽命,必須遵循規范的操作流程。以下是標準操作步驟:

一、使用前準備
環境檢查:確保基本型等離子清洗機放置在平穩、通風良好的臺面上,周圍無易燃易爆物品。檢查電源電壓是否符合要求(通常為220V),接地線連接可靠。
氣體連接:根據工藝需求選擇合適氣體(如氧氣、氬氣、空氣或混合氣),將氣瓶通過減壓閥和管道連接至設備進氣口,確認無泄漏。調節輸出壓力至設備規定范圍(通常0.1–0.3 MPa)。
真空系統檢查:確認機械泵油位正常、無乳化現象,泵體冷卻良好。
二、裝載樣品
樣品處理:將待清洗的樣品(如PCB板、玻璃片、塑料件等)用無塵布初步擦拭,去除明顯顆粒或油污。
放入腔體:打開真空腔門,將樣品平穩放置于電極板中央,避免堆疊或遮擋。樣品尺寸不得超過腔體有效處理區域。
關閉腔門:確保密封圈清潔無異物,輕輕關閉腔門并旋緊鎖扣,保證密封性。
三、參數設置與啟動
抽真空:開啟真空泵,啟動自動抽氣程序,待腔體壓力降至工藝起始壓力(通常10–100 Pa)后停止抽氣。
設定工藝參數:根據材料類型和處理目的設置:
氣體種類與流量:如氧氣用于去有機物,氬氣用于物理清洗,流量一般為10–50 sccm。
射頻功率:通常50–150 W,功率過高可能導致樣品損傷。
處理時間:一般1–10分鐘,視污染程度而定。
啟動等離子:確認參數無誤后,啟動射頻電源,觀察腔體內是否出現均勻輝光放電(呈藍紫色或淡粉色),表明等離子體已正常激發。
四、運行監控
設備運行期間,觀察壓力、功率和輝光狀態是否穩定,有無異常噪音或火花。嚴禁打開腔門或觸摸高壓部件。
五、結束操作
關閉射頻:處理時間結束后,自動或手動關閉射頻電源,輝光熄滅。
泄壓取樣:緩慢打開充氣閥,使腔體恢復常壓后方可打開腔門,取出樣品。
關機:關閉氣源、真空泵和主電源。清理腔體及密封圈,保持清潔干燥。